光刻加工中应该考虑精度和环境耐受性

光刻工程师在光刻加工中应该考虑精度和环境耐受性。有时候，我们的光刻加工环境是不太理想的。难免会遇到环境的变化。而光刻设备自带系统可以耐环境热屏蔽，就可以确保在实验室环境中稳定运行。有些光刻设备还提供了分室设置：电子束写入器可以安装在分隔墙上，这样它就可以站在灰室中并可以从那里进行操作，并且可以简单地从洁净室装载/卸载区域。这种设置可以节省宝贵的洁净室空间。

5um厚 电子束抗蚀剂中 3d 透镜矩阵

光刻加工 光刻设备 图片源自RAITH150 Two

光刻加工使用的设备硬件和软件自动化的出现，为小批量生产提供了便捷。像RAITH150 Two可跨单个写入字段中的跨越操作、步进和重复、拼接、混合“n”匹配模式或所有这些的组合接管简单且可重复的作业。明亮的热场发射电子源与各种二次和背向散射电子探测器相结合，可提供清晰的 SEM 成像，即使在标记识别要求高且最重要的叠加精度最重要的情况下，最终也能带来前所未有的灵活性。

无拼接错误的微米或纳米器件对于通信技术的光电领域或微米和纳米工程中的一些最新应用至关重要。RAITH150 两个电子束写入器可以选择配备 Raith 独特的traxx 和 periodixx功能；这些拼接无误写入模式分别使用 Raith 专有的固定光束移动平台 (FBMS) 和调制光束移动平台 (MBMS) 技术。

原位芯片不仅提供光刻加工服务，也关注和光刻加工的周边。我们意在和大家分享自己的所加所闻，并进行沟通交流。

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