中文 / EN
导航
微流控器件悬臂梁器件TSV通孔产品高精度硅基掩膜版二维材料器件
当前位置:首页 > 产品中心 > MEMS设计
微流控器件

超10年MEMS工艺经验团队主导

  • 工艺介绍

    Process introduction

    微流控(Microfluidics)指的是使用微管道处理或操纵微小流体的系统所涉及的科学和技术。因为具有微型化、集成化等特征, 微流控装置通常也被称为微流控芯片,芯片实验室和微全分析系统。原位芯片为客户提供整套包括设计,加工,测试在内的微流控芯片解决方案。

  • 器件应用

    Devices application

    微流控芯片因其微型化,规模集成等特征,在有机合成、微反应器和化学分析,临床诊断仪器和体外仿生模型等领域得到了广泛应用。

  • 工艺能力

    Process capability

    PDMS器件

    加工精度取决于模具的精度,原位芯片提供高精度模具如刻蚀硅,SU-8,刻蚀玻璃。

    SU-8器件

    胶厚范围在2-400um之间,胶厚和线宽比为1:1,精度误差小于10%。

    硅流道器件

    最小线宽在百纳米级别,流道陡直度高,线宽精度高,可控精度5%以内,流道最大深宽比可达20:1。

    玻璃流道器件

    深度1um内用IBE刻蚀,刻蚀精度10%以内,深宽比1:1,加工效率高。

    深度1-20um,可用NLD刻蚀,刻蚀具有高刻蚀速率、高均匀性、高等离子体密度及低压放电。

    深度20um以上用湿法腐蚀,加工效率高,深宽比2:1以上。线宽200um以上,精度要求低,可采用激光打孔。


  • 周期短

    加工周期短

  • 效率高

    完成效率高,质量好

  • 完整的工艺能力

    我们具有完整的工艺能力

  • 案例展示

    设计经验丰富 加工周期短 效率高

    选择我们的4大优势

    专业为企业提供芯片设计与研发

  • 代工种类全

    代工种类齐全,质量佳

  • 全程把控

    1对1代工服务,为客户层层把关

  • 快速响应

    24小时响应,按计划交付

  • 严格保密

    签订保密协议,代工安全放心

  • 他们一直选择原位芯片

    服务全国各大高校、科研单位 助力科学研究

    苏州原位芯片科技有限责任公司©版权所有 苏ICP备15018093号-6  苏公网安备 32059002002439号  技术支持:苏州网站建设  网站地图

  • 一键拨号

    樊工(华东、西北、华南、华中)

    13706135850

    孙工(华北、东北 、西南、港澳台、海外)

    13706138151

  • 在线留言