微流控（Microfluidics）指的是使用微管道处理或操纵微小流体的系统所涉及的科学和技术。因为具有微型化、集成化等特征, 微流控装置通常也被称为微流控芯片，芯片实验室和微全分析系统。原位芯片为客户提供整套包括设计，加工，测试在内的微流控芯片解决方案。

微流控芯片因其微型化，规模集成等特征，在有机合成、微反应器和化学分析，临床诊断仪器和体外仿生模型等领域得到了广泛应用。

1.PDMS器件：

加工精度取决于模具的精度，原位芯片提供高精度模具如刻蚀硅，SU-8，刻蚀玻璃。

2.SU-8器件：

胶厚范围在2-400um之间，胶厚和线宽比为1:1，精度误差小于10%。

3.硅流道器件：

最小线宽在百纳米级别，流道陡直度高，线宽精度高，可控精度5%以内，流道最大深宽比可达5:1。

4.玻璃流道器件：

深度1um内用IBE刻蚀，刻蚀精度10%以内，深宽比1:1，加工效率高。

深度1-20um，可用NLD刻蚀，刻蚀具有高刻蚀速率、高均匀性、高等离子体密度及低压放电。

深度20um以上用湿法腐蚀，加工效率高，深宽比2:1以上。线宽200um以上，精度要求低，可采用激光打孔。