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微流控器件悬臂梁器件TSV通孔产品高精度硅基掩膜版二维材料器件
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悬臂梁器件

超10年MEMS工艺经验团队主导

  • 工艺介绍

    Process introduction

    悬臂梁是一种一端是固定支座,另一端为自由端的器件,因其具有较高的敏感性、精确性、稳定性等特点,广泛被应用于气体传感器、化学传感器等。悬臂梁的设计和工艺加工成熟度直接影响其性能,原位芯片凭借其丰富的设计及加工经验,为客户提供定制化的悬臂梁设计及加工服务。

  • 应用范围

    Technical application

    利用悬梁的谐振频率或相位参数,可以测量压力、真空度、加速度等物理量。

  • 工艺能力

    Process capability

    加工线宽:百纳米-百微米

    加工材料:硅、SOI、氮化硅

    悬梁类型:静电驱动、加热型、加电型

  • 结合材料广泛

    结合材料广泛

  • 设计经验丰富

    设计经验丰富

  • 释放工艺成熟

    释放工艺成熟

  • 案例展示

    设计经验丰富 加工周期短 效率高

    选择我们的4大优势

    专业为企业提供芯片设计与研发

  • 代工种类全

    代工种类齐全,质量佳

  • 全程把控

    1对1代工服务,为客户层层把关

  • 快速响应

    24小时响应,按计划交付

  • 严格保密

    签订保密协议,代工安全放心

  • 他们一直选择原位芯片

    服务全国各大高校、科研单位 助力科学研究

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