悬臂梁是一种一端是固定支座，另一端为自由端的器件，因其具有较高的敏感性、精确性、稳定性等特点，广泛被应用于气体传感器、化学传感器等。悬臂梁的设计和工艺加工成熟度直接影响其性能，原位芯片凭借其丰富的设计及加工经验，为客户提供定制化的悬臂梁设计及加工服务。

利用悬梁的谐振频率或相位参数，可以测量压力、真空度、加速度等物理量。

加工线宽：百纳米-百微米

加工材料：硅、SOI、氮化硅

悬梁类型：静电驱动、加热型、加电型