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叉指电极

超10年MEMS工艺经验团队主导

  • 工艺介绍

    叉指电极是如指状或梳状的面内有周期性图案的电极,这种电极被用来产生与可穿透材料样品和敏感涂层的电场相关的电容。它是通过电化学工艺加工获得的超精细电路,被广泛应用于非破坏性测试、电子通讯、化学测试等多个领域。

  • 工艺应用材料

    陶瓷电极、柔性电极、硅基电极、多孔金修饰电极 

  • 工艺能力

    多种衬底:玻璃、石英、硅、蓝宝石、PET和PI:

    不同尺寸:2、4、6寸:

    不同线宽间距:最小线宽700nm

    对数及叉指材料:Ti、Al、Ni、Au、Ag、Cr、Pt、Cu等

    叉指电极传感器主要包括四个结构参数,分别为:叉指电极对的对数、叉指宽度、相邻叉指之间的间隙距离以及叉指电极的厚度。这四个参数对基于叉指电极的生化传感器关键性能指标都有很大影响。

  • 案例展示

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