2015年

·原位芯片成立

·推出国内首个氮化硅膜芯片产品

·推出MEMS微纳工艺流片业务

2016年

·获得姑苏科技创业天使项目

·加入半导体协会-MEMS分会

2017年

·获得江苏省民营科技企业称号

·成为清华苏州企业家商会会员

·MEMS液体流量计传感模组进入研发阶段

2018年

·完成天使轮融资

·MEMS微泵进入研发阶段

·微纳流片服务客户超500家

·推出第二代超净氮化硅膜产品

·获得国家科技型中小企业称号

2019年

·完成preA融资 

·荣获国家高新技术企业资质

·氮化硅薄膜国家发明专利授权

2020年

·完成preA+融资

2021年

·完成A轮融资

·流量传感器芯片发明专利授权

·液体流量传感模组完成工程批销售

·氮化硅膜出口德国、法国、美国、新加坡等国

2022年

·液体流量传感模组小批量产

·MEMS微型单项阀发明专利授权

·液体流量传感模组首个订单交付

·MEMS微泵芯片动物实验测试完成

2023年

·透射电镜用芯片发明专利授权

·液体流量传感模组ICU临床通过

·全球首颗非接触式硅基胰岛素微泵模组上市

2024年

期待更多精彩……