MEMS技术发展会有哪些趋势？

时至如今，MEMS产业已经呈现百花齐放的状态，涉及人们工作和生活领域越来越多，影响越来越大。那么，对于MEMS技术未来的发展趋势，很多专家给出了大胆的预测。大致从研究方向，MEMS代工、MEMS加工工艺，系统发展，生产与封装等方面进行了解说。

首先，从MEMS的研究方向来看。由于MEMS已经涉及民用和军事等各个领域，MEMS技术研究将日益多样化。包括数据存储、微型阀门、MEMS执行器、MEMS麦克风以、MEMS微型机电器件等，还有生产工艺、封装键合等十六个发展方向。涉及范围广泛，内容种类多样。

其次，MEMS代工和MEMS加工工艺也将变得多样化。例如传统的硅加工、MEMS代工、微纳代工的深硅刻蚀、键合、镀膜等MEMS代工、SCREAM工艺、方式将会越来越丰富。MEMS器件与集成电路芯片的不同在于，MEMS器件芯片一般都有活动部件，比较脆弱，没有封装去运输是比较困难的。所以，封装技术是MEMS一个重要的研究领域，因为其占整个MEMS产品成本的40%左右，选择合适的封装技术将对MEMS产品的市场竞争力产生巨大影响，几乎每次MEMS国际会议都对封装技术进行专题讨论。

最后，当MEMS发展到一定程度，普通商用和高性能商用的MEMS器件是并存的状态。设计航空个、航天的的高性能用途与用于汽车安全气囊上的MEMS器件都是一样重要的存在。所以，MEMS技术的发展将会呈现多领域和深度的发展状态，为人们、国家安全提供创新产品。