微纳加工

微纳加工

光刻加工技术是微电子制造的关键技术之一，其发展趋势与微电子制造技术的发展密切相关。随着集成电路的规模不断缩小，光刻加工技术也面临着越来越多的挑战。 首先，随着光刻波长的不断缩短，光学邻近效应和衍射效应越来越严重，这使得传统的光学曝光技术已经难以满足制造需求。因此，极紫外线（EUV）光刻技术成为了下一代光刻技术的发展方向

光刻加工

光刻加工

光刻加工