在微纳加工中，磁控溅射是一种物理气相沉积（Physical Vapor Deposition, PVD）技术，主要用于制备各种薄膜材料。其工作原理是，在高真空环境中，通过施加电场和磁场，使气体（通常是氩气）电离产生等离子体，等离子体中的离子在电场的作用下轰击靶材（欲被溅射的材料），将靶材原子或分子溅射出来，这些溅射出来的原子或分子在基底上沉积形成薄膜。 磁

在微纳加工中，硅波导键合是一个关键的工艺步骤，它涉及到将两个或多个硅基波导结构通过特定的技术精确地连接在一起，以形成更复杂、功能更强大的光电子器件或系统。 硅波导键合技术的主要目标是确保波导之间的连接具有高度的光学和电学性能，包括低损耗、高耦合效率、良好的稳定性和可靠性等。为了实现这些目标，微纳加工技术提供了

微纳加工中会有硅波导的加工，其是利用硅芯片制造的微型结构，能够把光线引导到所需的方向，实现高速数据传输。 硅基光电子波导是集成光路的骨干，能够在微观上精确控制和操纵光。硅材料以其优异的光学特性和与现有半导体制造工艺的兼容性而著称。硅波导以高效率和最小损耗引导光信号，对于包括电信、数据通信和传感器在内的众多应用

微纳加工中叉指电极是一种具有指状或梳状面内周期性图案的电极，它是通过电化学工艺加工获得的超精细电路。作为电信号传输的核心部件，叉指电极在生物医疗、环境监测、食品安全、公共安全等领域有着广泛的应用。具体来说，叉指电极常被用作快检仪器中的化学传感芯片，用于进行气体和液体的相关检测，是实现仪器小型化集成化的关键方法

掩膜版和掩膜板在半导体制造中虽然都起着重要作用，但它们的功能和定义确实存在一些区别。 掩膜版，也被称为光掩模板、掩模板、光学掩模板等，是在薄膜、塑料或玻璃基体材料上制作各种功能图形并精确定位，以便用于光致抗蚀剂涂层选择性曝光的一种结构。它是微电子制造中光刻工艺所使用的图形母版，主要用于集成电路(IC)、平板显示器(

掩膜版，又称光掩模板、掩模板、光学掩模板、光掩膜、光刻掩膜版、光罩等，在薄膜、塑料或玻璃基体材料上制作各种功能图形并精确定位，以便用于光致抗蚀剂涂层选择性曝光的一种结构。掩膜版主要由基板和遮光膜两个部分组成，基板分为树脂基板和玻璃基板，遮光膜分为乳胶和硬质遮光膜两种。 掩膜版的应用场景非常广泛，特别是在涉及光刻