叉指电极常出现在微纳加工中，其应用场景广泛且多样，主要得益于其高灵敏度、快速响应和易于操作等特性。叉指电极可以是PI、硅片、陶瓷作为衬底进行设计加工。以下是叉指电极的一些主要应用场景： 环境监测：叉指电极在环境监测中发挥着重要作用。例如，它可以用来测量水或土壤中的金属离子浓度，如铜、铁、锰等，从而评估污染水平。这种

微纳加工

微纳加工

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光刻加工技术是微电子制造的关键技术之一，其发展趋势与微电子制造技术的发展密切相关。随着集成电路的规模不断缩小，光刻加工技术也面临着越来越多的挑战。 首先，随着光刻波长的不断缩短，光学邻近效应和衍射效应越来越严重，这使得传统的光学曝光技术已经难以满足制造需求。因此，极紫外线（EUV）光刻技术成为了下一代光刻技术的发展方向