微纳加工中MEMS测量工具是主要挑战

有专家说MEMS是典型的利基市场，即它需要快速测试解决方案来验证终端芯片。微纳加工中常遇见的是测量和工具。微纳加工使用的工具或者设备主要涉及光刻机、刻蚀设备、镀膜设备等。MEMS工具则包含信号处理和测试数据分析。

在微纳加工和MEMS产业发展过程中，测试时间的缩短，将缩短产品上市的时间意味着成本的减少。这样，科研人员就可以有更多的时间去研究新的产品，争取更多的创新。MEMS测试的基本工具是信号处理和数据分析。这些工具的价格是比较贵的，但是可以使用15-20年。我们相信随着技术的发展，设备的更新迭代在费用是会相对降低。MEMS测试工具需要有电源、仪器模块、测试程序、测试协议和接口硬件，用于实现MEMS的ATE设备扩展。目前有些公司通过轻敲MEMS加速度计来测量其响应。Salland Engineering表示，在很大程度上该方法可以用电信号测试来代替，用于测试晶圆级芯片。晶圆级测试可以在高度并行的情况下进行，这大大提高了测试速度。 

微纳加工、MEMS的主要挑战是测量很小的电流和电容量来感知物理变化。无论如何，测量精度都需要大大提高。科研人员说“对于IC芯片，我们讨论的是微安（uA）级，而在MEMS测试中，它的大小是皮安（pA）和飞法（fF），小了一千倍。此外，MEMS元件的尺寸有时还不到1平方毫米。它需要很多新技术来处理。”

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