Rogue在MEMS中的薄膜生产

MEMS代工中有一项镀膜代工，常有金属镀膜、纳米镀膜等。薄膜是任何微电子制造过程中的重要组成部分。拥有多样化且灵活的“薄膜工具”工具箱可以极大地改善设备功能和可制造性。

 源自Rogue

对于光学器件，具有正确折射率的多层膜堆叠非常重要，而膜的机械性能可以决定MEMS器件的生存能力。对于许多生物医学设备而言，金，铂和银层对于设备的功能至关重要。Rogue Valley Microdevices的薄膜铸造厂保持着市面上最大，最多样化的薄膜产品之一。许多薄膜都可以定制，以满足所制造设备的特定折射率，薄膜应力，电阻率和结晶度要求。

所有的薄膜均可用于最大200mm的晶圆。溅射和PECVD膜可用于最大300mm的晶片。为了支持不断增长的客户群，Rogue Valley Microdevices继续在产品组合中添加新的胶片。

热氧化

·湿热 退火、干热氧化、干氯化热氧化

LPCVD氮化物

·化学计量氮化硅、低应力氮化硅、超低应力氮化硅

LPCVD多晶硅

·标准多晶硅、低应力多晶硅

PECVD沉积

·二氧化硅、氮化硅、低应力氮化硅、碳化硅、氮氧化硅、碳掺杂氧化物、非晶硅、可以在不破坏真空的情况下原位沉积多层薄膜堆

溅射沉积

·铝、铝、铝硅、铜、镍、铬、钽、钛、钨丝、反应溅射氮化钛、反应溅射氮化钽、反应溅射氧化钽

使用行星和提离工具进行电子束沉积

·铝、铜、镍、铬、金子、氧化铟锡、银、锡、钛、铂、铂铱、氧化铝