微纳加工技术高灵敏度金刚石悬臂MEMS芯片

微纳加工中悬臂技术突破中，日本某研究小组有过突出贡献。他们成功的开发出通过电信号驱动和传感的单晶金刚石MEMS传感器芯片。

金刚石MEMS传感器的问世，标志着高灵敏度和可靠性高的MEMS器件又上了一个台阶！也意味着，高品质因素的金刚石悬臂，在室温下具有前所未有的最高品质因素。这样研究，推动业界对金刚石MEMS的研究。

微纳加工中涉及到的悬臂梁器件，大多是硅材质。金刚石的弹性常数和机械常数是所有材料中最高的，因此有望用于高可靠性、高灵敏度MEMS传感器的开发。然而，由于其机械硬度高，金刚石的三维微加工非常困难。在MEMS传感器中，微观悬臂（仅固定一端的悬臂梁）和电子电路集成在单个基板上，它们已用于气体传感器、物质分析和扫描显微镜探针。然而，对于防灾和医疗等更广泛领域的实际应用，它们需要更高的灵敏度和可靠性。

该研究小组在10年前，曾使用离子束对金刚石进行微处理，成功制造出一种单晶金刚石悬臂。由于种种问题，并没有获得后来那么惊艳的品质。这些研究成果可以加速对金刚石MEMS芯片实际应用至关重要的基础研究，开发能够区分单个分子质量差异的超高灵敏度、高速、紧凑和可靠的传感器。对微纳加工也有着积极的影响。