微纳加工 苏州MEMS中试线，填补空白

微纳加工中具有加工中试能力的公司相对较少，中试能力也成为衡量加工公司的指标之一。苏州的中试平台在2014年上线后，就填补了国内创新链的空白。

国内中小MEMS公司的发展，面临最大问题的是产品的中试生产和工程化。高校、科研机构的实验室能力有限，开放程度也不够，微纳加工厂的封装费用也非常高，一般小微企业也比较难接受。由于我国MEMS产业的创新链不完善，缺乏工业级中试线的支撑，科研团队在研发做出样品后又无法直接进入加工厂，难以实现渐进式的规模化成长。所以产品的中试成为阻碍MEMS企业发展的瓶颈。

当前，我国正处在MEMS产业格局形成、产业化加速发展的时期，产业资源集中分布在研发起步早、研发资源丰富的环渤海湾(北京、天津、石家庄)地区，产品企业集聚、产业链健全、商业化环境优良的长三角(上海、苏州、无锡)地区，市场驱动灵活、系统集成制造能力强的珠三角(深圳)地区。

MEMS产业带动的微纳加工，从全国来看，主要还是集中在江苏。以无锡、南京、苏州三个城市。其中，苏州MEMS产业布局多年，已经形成了MEMS传感器的芯片设计、研发、中试、封装测试的全覆盖的产业特色。中试线，与科研机构的概念验证、单步工艺能力不同，主要开展中试和小批量生产业务，前端与产品样品衔接，后端与规模加工厂衔接，是一个完全工业级别的中试线，不仅可以帮助中小企业创新，还可以促进他们规模化发展。教授们认为，智慧终端、物联网、智慧医疗等产业的发展，带动了MEMS传感器的市场需求，未来将成为MEMS应用的重要领域。