第一款商用的热扫描探针光刻加工系统

海德堡公司的Explore 是第一款商用热扫描探针光刻加工系统。该光刻加工设备用于在 1D/2D 材料上对量子器件进行纳米图案化，例如量子点、多兰桥和约瑟夫森结，以及纳米级阵列。其独特的功能使新材料的新设备成为可能。例如，它用于高级应用，如灰度光子学器件、纳米流体结构或用于细胞生长的仿生基质；通过热对材料进行局部改性，例如化学反应和物理相变。

海德堡的热扫描探针光刻加工系统使用直接激光升华模块，纳米和微结构现在可以在单个制造步骤中无缝且快速地写入同一抗蚀剂层。原位成像实现了两个独特的功能：无标记覆盖，以及在写入过程中比较写入和目标图案，因此可以立即调整参数。这种称为闭环光刻加工的方法可实现任何复杂度的 2.5D（灰度）形状的亚 2 nm 垂直精度。对加热的纳米级尖端的快速和精确控制使创新成为可能，否则是不可行的。

具有精确设计的三维形貌的纳米流体装置利用布朗运动通过将它们引导到相反方向来分离具有小至1纳米尺寸差异的粒子。 （由IBM研究、科学保护和PRL2018提供)

该光刻加工系统背后的技术是20多年从IBM Research Zürich开始，现在发生在 Heidelberg Instruments Nano 的密集研发 (R&D) 的结果。通过对硬件和软件不断改进，以扩展该工具的功能和性能及其应用范围。海德堡的专家团队不断开发和优化不同应用的图案转移过程。在越来越多的最佳实践和协议中汇集了这些专业知识，以支持跟多的光刻加工客户。