电子束光刻系统如何实现更快更好的结果

对光刻加工的数量和精度有这一定高要求的高下、科研机构以及工业领域，需要一种专业的高性能的电子束光刻系统来满足科研需求。今天介绍一款电子束光刻系统---VOYAGER 是一款智能创新 的eWrite 专有技术。它的系统架构是从头开始设计的，专门为那些希望利用可靠且经济的主力寻求快速样品周转或小批量生产的人而设计。功能包括：

·50 kV 热场发射柱技术

·全自动写场校准

·自动对焦和stigmator设置

·在高分辨率和吞吐量写入模式之间自动切换

·多样品曝光自动化

·“类似打印机”的独特 GUI，适用于经验不足的用户：Job Creator 和 Job Manager

·紧凑的系统占用空间

·创新、可升级和面向未来的系统架构，以及

·专用电子束光刻系统的有吸引力的拥有成本

光刻加工设备VOYAGER 代表着稳定的高性能和易用性，在仪器的整个生命周期内都具有极具吸引力的性价比。VOYAGER 电子束光刻系统带有耐环境防护罩，即使在不太理想的实验室环境中也能确保系统稳定性。

光刻加工电子束系统VOYAGER 凭借其创新架构，

允许对电子束写入器进行经济高效的“穿墙加载”设置。图片源自VOYAGER

准确的结果，以高速和合理的成本交付：VOYAGER 是第一个采用新型eWrite 技术的系统。eWrite 将新的专用EBL 电子光学器件与图案发生器设计的最新创新相结合，可自动进行系统校准和批量制造。整个曝光工作中所需的所有校正都是逐个像素地“即时”应用的，从而节省了大量的处理时间开销。根据图案，可以在最高分辨率下获得超过 1 cm²/h 的写入速度。

无拼接曝光模式 traxx 和 periodixx进一步增强了光刻加工电子束光刻系统在最新通信技术或光电应用中的可能性。紧凑的占地面积节省了昂贵的实验室空间。独特的拆分房间或“穿墙装载”设置的可能性甚至允许系统位于宝贵的洁净室空间之外。

具有创新架构的新型高性能电子束光刻系统：硬件和软件都是为自动曝光操作而设计的。独特的软件功能，如多样本曝光包，允许几乎没有或没有 EBL 经验的用户操作系统，这一优势甚至可以在不同的大学学院或工业部门之间利用跨学科研究和样本交换。VOYAGER 可以处理约 8 英寸晶圆（最大载物台行程范围为 150 毫米）的小 ~cm² 样品。

光刻加工的电子束光刻设备，科研机构、实验室对于设备的引进可根据需求和预算进行。好的设备，一般会有事半功倍的效果。从长期来看，投入还是值得的。

介绍整合于VOYAGER