光刻加工设备 国外电子束设备参考

在国内，光刻加工中电子束光刻使用到的设备几乎依靠进口。像国外的EBPG Plus这种光刻设备自动化高、吞吐量大和可靠性的高分辨率的光刻加工设备。EBPG Plus就是一种超高性能电子束光刻加工系统。经了解，该公司产品经过现场验证且非常成功的系列现在已经达到了进一步的发展水平。凭借100 kV 写入模式和低于 5 nm 的高分辨率光刻，它涵盖了直接写入纳米光刻加工、工业研发和各种纳米制造设施中的批量生产的广泛前沿应用。吞吐量、稳定性、保真度和精度的新集成协调确保了所有性能参数之间的完美交互，以获得最佳的高分辨率光刻结果。功能，例如

·自动晶圆和多样品曝光

·自动曝光参数切换和校准，可在高通量和高分辨率之间无缝稳定切换

·易于学习的图形用户界面和用于脚本编写的终端界面

·安全的多用户环境和不同的访问级别

·稳定时间极短的极快阶段

·自动 2 或 10 支架气闸，

·快速无差错的样品对齐

·先进的断裂模式可实现最低的线边缘粗糙度

·使用 Firebird 技术进行高效数据处理，在最短的时间内实现最高的模式保真度

带有四个 3 英寸晶圆的支架是在 10 支架气闸中使用的可能性之一

光刻加工设备 电子束光刻设备EBPG Plus 图片源自网络

塑造纳米制造的未来

我们可以看出EBPG Plus 提供了自动化、模块化和性能的独特组合。直观的用户界面加上带有可选数据预处理软件的自动化工作流程，可帮助用户专注于获得结果而不是系统处理。EPBG Plus 提供了许多不同的支架，可提供不折不扣的自动化，而不受晶圆或样品几何形状的限制。此外，高分辨率光刻系统可以随时根据不断变化的需求进行现场升级。

我们可以看出，光刻设备厂家满足市场需求，向为光刻工艺工程师的光刻加工提供自动、高效、精准和稳定的设备。可实现一致的高产量和产量。

资源介绍源于EBPG Plus