光刻加工设备 纳米划线器

在光刻加工中，光刻设备有很多供应商，纳米划线器更是不少。纳米划线器是一种先进的 2 光子 3D 光刻系统，允许使用尺寸小至 100 nm 的构建块打印结构。在国内，进口的双光子飞秒激光直写仪。可以通过将功能性颗粒混入聚合物材料以改变三维构型的材料性能.用Nanoscribe的光子打印出较精细部分的结构，然后再次使用标准的无掩模光刻系统对其它部分进行曝光。 

光刻加工设备 纳米划线器 图片源自网络

纳米划线器也可以 在200μm高的SU-8中打印出的3D微滤器。还可以通过该设备将光刻胶与碳纳米管（MWNT-硫醇-丙烯酸酯（MTA）混合，直接打印制造导电元件。此法打出的器件达到了高达47S/m的电导率。一台好的光刻加工设备，在加工中起到事半功倍的效果。

除了从盖玻片到 5 英寸方形掩模的多种基材外，还可以写入多种光刻胶。精密的载物台控制可以轻松制造复杂的结构，例如光子晶体或超材料。此外，可以编写更大的结构，例如微流体通道，从而可以轻松构建新的通道形状。使用场景：光子晶体、3D 投影、微流体、细胞支架、生物拟态等。使用材料大多为聚合物。对于尺寸要求在：基板范围从盖玻片和显微镜载玻片到 4 英寸硅片和 5 英寸方形。

很多国外的著名高校例如牛津大学，伦敦帝国理工大学，苏黎世苏黎世大学，加州理工学和哈佛大学等大学等都使用这样的光刻加工设备。有条件的企业、学校可以考虑自己购买设备，搭建光刻加工工艺线。

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