软光刻的光刻加工

有些软光刻的光刻加工提供了对 3D 和弯曲结构的访问，可耐受多种材料，生成定义明确且可控的表面化学，并且通常与生物应用兼容。软光刻是一种用于通过在模具上模制和压印弹性体来创建微型器件或三维结构的技术。用这种技术制造的最常见的设备是广泛用于细胞生物学的微流体。PDMS 是一种低成本、化学惰性和生物相容性材料，具有通用的表面化学和灵活的机械性能，已广泛用于软光刻的各种应用，包括微流体、芯片实验室和细胞生物学。

光刻加工 软光刻 图片源自网络

软光刻也非常适合聚合物、凝胶和有机单层。软光刻被广泛使用，因为它是复制三维结构（从厘米到微米）的一种简单、可靠和低成本的工艺。像在 UQ Long Pocket 校区拥有设备齐全的软光刻套件。光刻加工的软光刻套件一般在 10 000 级无尘室内，使工艺工程师能够在专用的清洁环境中从头到尾制造先进的微流体设备，确保整个过程无尘。

光刻加工中软光刻可用于微流体器件制造、粘合和微成型。目的：用于生物应用的 PDMS 器件制造和表面改性。其相关设备：

1.用于 PDMS 混合和脱气的行星式混合器。

2.用于在晶片和载玻片上涂覆PDMS 的旋涂机。

3.用于表面处理的硅烷化干燥器。

4.用于固化的烤箱和电炉。

5.用于载玻片清洁的超声波清洁器。

6.用于表面活化和器件粘合的Tergeo 等离子清洁剂。

7.蔡司光学显微镜用于器件检查。