光刻加工的软光刻

在光刻加工中，软光刻是指一种用于通过在模具上模制和压印弹性体来创建微型器件或三维结构的技术。用这种技术制造的最常见的设备是广泛用于细胞生物学的微流体。该技术中最常用的弹性体是PDMS（聚二甲基硅氧烷）一种柔软的生物相容性弹性体，具有高热稳定性、高化学稳定性、低毒性、化学惰性、绝缘性、对紫外线和可见光透明、成本低、易于成型、机械柔韧耐用。这就是使用“软”一词的原因。使用的模具可以由硅、光刻胶（最常用的是 SU-8）或金属模制成。软光刻也非常适合聚合物、凝胶和有机单层。软光刻被广泛使用，因为它是复制三维结构（从厘米到微米）的一种简单、可靠和低成本的工艺。

软光刻工艺的第一步是制造将被复制的模具。光刻加工中最常用的材料是通常称为SU-8 的可光图案化环氧树脂，这种光刻胶具有多种粘度，可产生从不到一微米到数百微米的各种薄膜厚度。SU-8 模具采用标准光刻方法制造。软光刻广泛用于制造易于复制的低成本设备。主要用途是制造用于生物应用的微流体。通常将模具连接并组装在显微镜载玻片上，并放置在显微镜物镜下进行检查。

原位芯片提供光刻加工服务，十分擅长PDMS代工。