飞利浦MEMS代工制造过程开发（MPD）流程

飞利浦拥有ISO 5、6和7级洁净室（相当于100~10,000 FED标准级），每年可以从这里提供超过15,000个晶圆。为MEMS代工提供灵活性，可处理从Ag到Zn的材料，包括“禁止使用CMOS”的材料，合金，电介质和聚对二甲苯等聚合物。

图片源自飞利浦

飞利浦提供MEMS代工和微型设备组装的一站式服务，这使合作伙伴可以建立一个联系点，进行有效的沟通和项目处理。飞利浦创新服务部可以真正对MEMS组件和微型组件进行相互优化。制造过程开发（MPD）流程逐步

1.定义阶段

项目将被定义。客户需求和流程草案在项目计划中提出。

2.概念阶段

流程开发从短循环开始。此阶段将产生第一批可行性报告。目标：可行性证明

3.设计阶段

定义了过程窗口，并根据第一个原型的结果对过程进行了定制。设计针对过程窗口进行了优化。目标：冻结设计

4.工程阶段

重复该过程以证明稳定性和可重复性。目标：流程冻结

5.资格阶段

生产合格的材料。没有NRE，基于晶圆的定价。统计数据以验证批量生产。目标：合格程序

6.制造阶段

按商定的时间表量产。过程继续受到监视。