MEMS代工之微柱代工

MEMS代工是顺利完成MEMS器件的前端，通过不断的设计优化和测试，最终应用到各种MEMS器件的功能上。MEMS种类繁多，每个行业都有自己的行业标准和技术要求。MEMS代工一般是以定中为主，而定制设计的MEMS技术一般都具有特点，例如高、纵深比，是否易断等。

MEMS代工的前期工作，是为MEMS器件用于比较极端的环境和不同的机械应力测试。MEMS的材料一般都不是常规，需要更多的应用功能，MEMS器件比传统集成器件种类要多，小到麦克风大到显示器等。MEMS代工是非常考验代工工厂能力，没有五年、十年的经验积累无法代工高要求的MEMS器件。

对于MEMS代工针对不同行业，给出高质量的产品还是需要一定代工经验的。就原位芯片了解，像Sensera这样的MEMS代工公司，前几年就可以在硅片上实现直径约6微米，高40微米微柱。这样的管芯被用作制造聚合物膜的模具。聚合物膜可以应用在微流控装置中，用于器官芯片，从而更好地理解人体生物学。这就是针对不同行业MEMS代工能力的体现。

图片源自Sensera

我们看到的微柱完美的展现在图片中，是需要MEMS代工经验丰富的工程师逐步完成的。高密度和高身宽比代表容易碎，微微接触都可能带去毁灭性的折断。微柱断裂后导致膜中的孔缺失，从而影响芯片的功能发挥。所以，制作好一个看似简单，但又每一步都必须完整和正常发挥其功能。原位芯片拥有一支经验丰富的MEMS代工团队，已经为全国高校、科研机构提供高效的MEMS代工服务。