MEMS商业化发展进程

MEMS是微机械系统的简称，是指集合了微结构、微型传感器、执行器以及信号处理、电路、借口、通信、电源于一体的微型系统或者微型器件。也就可以在一个比硬币还小甚至就只有几毫米的芯片上滴露执行某种任务。MEMS的出现，给人类的科学研究带来了利好的消息，MEMS商业化的进展也是经过了四轮的发展至今。

MEMS的发展经过四轮的商业化浪潮。第一轮是在20世界70年代末-20世纪80年代初，当时，大家还是用大型蚀刻硅片结构和背蚀刻膜片制作压力传感器。由于薄硅片振动膜在压力下变形，会影响其表面的压敏电阻走线，这种变化可以把压力转换成电信号。后来的电路则包括电容感应移动质量加速计，用于触发汽车安全气囊和定位陀螺仪。

MEMS发展的第二轮商业化出现在了20世纪90年代，该时期MEMS主要围绕着PC和信息技术的兴起。TI公司根据静电驱动斜微镜阵列推出了投影仪，而热式喷墨打印头直到现在都广为应用。

MEMS的第三轮商业化可以说出现于世纪之交，微光学器件通过全光开关及相关器件而成为光纤通讯的补充。尽管该市场现在萧条，但微光学器件从长期看来将是MEMS一个增长强劲的领域。

推动MEMS第四轮商业化的其它应用包括一些面向射频无源元件、在硅片上制作的音频、生物和神经元探针，以及所谓的'片上实验室'生化药品开发系统和微型药品输送系统的静态和移动器件。