微流控（Microfluidics）指的是使用微管道处理或操纵微小流体的系统所涉及的科学和技术。因为具有微型化、集成化等特征, 微流控装置......
悬臂梁是一种一端是固定支座，另一端为自由端的器件，因其具有较高的敏感性、精确性、稳定性等特点，广泛被应用于气体传感器、化学传感......
叉指电极传感器主要包括四个结构参数，分别为：叉指电极对的对数、叉指宽度、相邻叉指之间的间隙距离以及叉指电极的厚度。这四个参数......
高精度的硅基掩膜版是通过微纳加工中常用的刻蚀的方法，在硅基底上刻蚀出高精度的镂空掩膜图案，常被用于二维材料电学，光电等性质的研......
TSV技术（穿透硅通孔技术），一般简称硅通孔技术，是三维集成电路中堆叠芯片实现互连的一种新的技术解决方案。TSV能够使芯片在三维方向堆......
二维材料是指电子仅可在两个维度的非纳米尺度（1-100nm）上自由运动（平面运动）的材料，如纳米薄膜、超晶格、量子阱，目前二维材料已经成为......
微纳加工
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