光刻设备中的嵌入式软件

目前，我们在光刻加工中使用的光刻设备大多进口。阿斯麦尔是行内人非常膜拜和向往的设备。他们的设备，不仅仅是光刻加工，更多的是完成更高等级的光刻任务。阿斯麦尔不仅硬件设备厉害，软件系统也起到了重要的作用。

光刻加工 光刻设备 阿斯麦尔 图片源自ASML

阿斯麦尔所有的光刻系统都使用嵌入式软件来引导和控制他们的机器。在过去30年的开发过程中，他们的嵌入式软件代码库现在由数百万行代码组成。他们越来越依赖一种称为模型驱动工程 (MDE) 的行业领先技术来改进我们的代码，为其业务提供竞争优势，并使跟多光刻加工工艺工程师们向往使用。

光刻加工工程师或许不知道，他们的软件协调光刻系统（也称为“扫描仪”）中强大的机电模块的行为。需要以纳米精度快速定位硅晶片。表现优秀的地方还属扫描仪计量软件有助于测量和补偿 由于材料缺陷、温度波动或大气压力变化而不可避免地在生产过程中出现的亚纳米级误差。它计算硬件应该如何纠正这个问题，协调许多组件以最大限度地提高系统性能。 阿斯麦尔的数据科学家将极端复杂性和非常大容量的数据独特地结合在一起。他们需要以新颖的方式利用不同的数据源并生成可操作的见解。这些见解可以创建新产品或提高整个公司现有产品和服务的能力、性能和效率。

例如，他们的计量系统会生成数 TB 的数据。提取、管理和分析如此大量的数据以优化我们的机器是我们软件开发团队面临的一项重大挑战。在2020年末，苏州某科技园就历经波折，引进了一台阿斯麦尔的设备。这对企业研发起到的助力的作用。

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