INO的MEMS金黑沉积

INO提供MEMS代工服务的同时也提供定制的黑金沉积和图案化服务。这得益于他们的金黑工厂专用的沉积和激光修整站，能够提供根据客户的需求和规格量身定制的服务。黑色多孔的金黑膜（小于总金密度的0.3％）具有较宽的光谱带吸收率和较低的热质量。这些涂料特别适用于：

1.与MEMS热传感器集成，可提供高吸收和快速热响应

2.其他需要极多孔涂层的应用

除了在各种基板上提供定制的沉积物外，还可以将金黑涂层集成到MEMS和传感器（例如微辐射热计检测器）中。INO提供的MEMS代工服务可以针对最严格的应用量身定制。

INO还开发了一种特殊的激光微加工工艺，用于将发黑的红外探测器像素分离。该工艺涉及用3至12 µm宽的通道烧蚀金黑涂层。通道定位精确到1µm以内，涂层和像素完整性不受影响。 在光学镀膜设计和制造方面的丰富经验以及稳定，可重复的过程能够重复和调整，以确保高效，提供灵活的定制服务。应用领域千差万别，从航空航天到安全和国防，以及任何其他需要极多孔涂层的应用。INO的黑金涂料具有以下特征：

厚度：3–70 µm

波长吸收范围：NIR至THz（1.7–300 µm）

均匀的沉积面积（30x40 mm 2）

厚度为25 µm的膜在0.2至40μm的波长下的光吸收> 95％

厚度为25 µm的膜在40至100μm的波长下的光吸收> 90％

70微米厚的薄膜在300微米以下的波长下的光吸收> 35％

符合太空和军事应用的环境要求（振动，冲击和热循环）