INO的多项MEMS代工服务

一家成熟的MEMS公司，是可以独立完整的设计到MEMS器件开发。像INO就可以提供完整的MEMS代工服务。多年行业资源积累、专业的MEMS知识储备可以灵活的提供技术帮助客户完成MEMS代工服务。先进的4630平方米，ft.洁净室设备适用于6英寸和8英寸的处理基板。INO每年为15 - 25家客户提供MEMS代工服务，其中包括大学、创业公司和大公司。INO的多项MEMS代工服务

专业知识

•模拟

•具有多个牺牲层的表面微加工

•MEMS与CMOS电子的集成

•Hermetic packaging

•异构组装

•Optical design

•电子

MEMS代工

•模拟

•过程•原型

•Short-series manufacturing

•广泛的测试

微机电系统封装(每月200套*)

•使用INO标准平台进行设备打包

•新包装设计

•流程适应和开发

*1 "方形68 LCC陶瓷封装

其他

•技术转让

•联合研发(产品开发)

•合资企业

基本建筑模块:多层悬浮平台、单层和双层多层平台

MEMS-CMOS IC集成

•支持设计与MEMS兼容的混合信号CMOS ICs

•CMOS铸造选择

•集成CMOS电路

•MEMS的CMOS后处理(晶圆取芯)

MEMS-Pirani微型压力

•可与MEMS器件在封装或片上协同集成的传感设备

•控制软件内置专利测量技术

•重复性(典型):读数从3mtorr到760 Torr的±1.5%

•精度(典型)±2%从10 mTorr-760Torr

•精度(典型)±5%从3 mTorr-10 mTorr

•在衬底温度< 0.7%/K时的校准稳定性

•泄漏率<<常规方法10-16 Torr.L/sec