微纳加工
离子注入是MEMS代工产业中的一项业务,INNOViON可以算是全球最大的离子注入服务提供商。能成为全球最大,一般少不了设备、人员和技术的支持。所以,INNOViON拥有多个生产地点和30个植入机,可以满足客户的各种需求。INNOViON在为领先的半导体和技术公司提供具有成本效益的独特技术解决方案方面发挥着重要作用。
INNOViON拥有大量的大中型电流注入机,可处理2英寸至300mm的基板。在高能和复合材料植入方面拥有独特的能力。他们还有各种各样的专用工具和定制夹具,使我们能够处理晶圆片以及独特的形状和材料。
大多数INNOViON客户并不拥有植入机,而是完全依赖我们。此外,INNOViON保持容量可满足紧急需求的需求,并提供当天的周转时间。我们每周处理成千上万的晶圆(包括高容量的砷化镓和复合衬底),并根据需要增加工具和产能,以支持客户不断变化的需求。
离子注入过程涉及将一定量的离子(作为单个原子或分子)注入材料中,以改变材料的物理特性。最常见的应用是通过控制区域在何种条件下会导电或绝缘来影响半导体(如硅或砷化镓)的电性能。另外,离子注入可用于通过建立可沿其分裂晶体的平面来影响晶体学性质,或以可能结合与器件隔离的区域中不希望的污染原子的方式改变化学性质。
INNOViON是植入式研发和特殊材料的公认领导者。他们有专门的专业部门和专家团队随时为客户提供帮助。他们MEMS代工的独特形状和晶圆尺寸范围从小块到300mm。INNOViON可以支持客户对零件清洁或植入机组件的来源和子组件重建的要求。拥有一支专门的维护团队,可为工具安装/卸载提供支持。
INNOViON的“完全满足客户并不断改进”的质量方针是与行业领先的客户保持出色质量记录的基础。INNOViON的质量平台包括ISO 9001:2015认证,ITAR注册和5S原则,并辅以先进的SPC监控和冗余计量系统,这些过程均由出色的过程工程和设备工程经验和能力所支持。
INNOViON公司致力于减少其对环境的影响。INNOViON对环境的承诺扩展到他们的员工和经营所在的社区。承诺遵守所有适用的城市,州和联邦环境法规,并在可能的情况下防止污染。向员工传达我们的环境计划,并授权他们做出贡献和参与,并向社区传达对环境的承诺和努力。随着时间的推移,通过设定目标以减少对环境的影响来努力衡量我们对环境的影响,从而不断改进。
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