三分钟读懂MEMS（一）

Micro-Electro-Mechanical SySTems是MEMS的全称，微机电系统，在一块小小的芯片上完成科学实验、工作任务。随着传统半导体行业的发展，MEMS的出现弥补了人们对于细微加工技术、超精密机械加工技术的需求，并不断壮大和发展。伴随MEMS产业发展的还有MEMS代工产业，MEMS代工技术还可以用于微流控芯片、生物医疗领域，从而让科研更加便捷。

MEMS主要包括微型机构、微型传感器、微型执行器和相应的处理电路等几部分，它是在融合多种微细加工技术，并应用现代信息技术的最新成果的基础上发展起来的高科技前沿学科。

MEMS是在融合多种微细加工有时甚至是纳米级的加工技术，应用当下最新的信息技术，不断发展起来的高精尖的前沿学科。MEMS的出现，属于一个领域从无到有的创新。人们可以利用MEMS技术，制作MEMS传感器、真空微电子器件、微执行器等，应用在人类几乎所有可以涉及的领域，包含航天、生物医疗、环境检测、汽车、数码电子产品等。MEMS已发展成一个十分有潜力的产业，并将拥有巨大的市场及收益。

MEMS相对于传统机械，在大小体积上具有绝对的优势，可以在厘米、微米级的尺寸上工作。主要采用以硅为主的材料，利用集成电路(IC)类似的生成技术或者利用IC生产中的成熟技术、工艺 ，进行大批量、低成本生产，使性价比相对于传统“机械”制造技术大幅度提高。