微纳加工
X-FAB是可提供MEMS代工,以模拟/混合信号半导体应用而闻名全球领先代工厂。在德国,法国,马来西亚和美国拥有六个制造厂,每月的总产能约为100,000个8英寸等效晶圆,全球雇员总数约为3,800名。X-FAB通过为客户提供出色的技术支持,快速,便捷和灵活的铸造通道,以及为晶圆制造过程增加价值。
X-FAB MEMS代工工厂提供完善,快速和专业的服务。根据客户需求提供大批量MEMS代工生产,X-FAB还提供开放平台的工艺,可以按比例缩小规模,以进行小型晶圆生产和批量生产。在制造业,X-FAB MEMS代工可根据客户需求扩展。公司有五个用于CMOS和MEMS的工厂,可提供6”和8”晶圆尺寸。X-FAB MEMS代工质量上指出:所有生产场所均符合汽车标准,公司有严格的质量程序和方法并且通过ISO 9001和ISO 14001认证。X-FAB MEMS代工设计支持:设计规则和工艺规范,提供功能齐全的IP模块以及MEMS专用仿真解决方案。X-FAB MEMS代工合作,和特定MEMS工艺开发的合作伙伴,支持MEMS器件的设计和IP模块开发。
X-FAB MEMS代工工艺制造能力通过提供模块化支持,X-FAB可以快速满足客户对批量和表面微加工工艺的要求,而无需花费大量的开发时间和成本。其中包含:膜形成、DRIE蚀刻、KOH蚀刻、在氧化物和PI上进行结构释放蚀刻、晶圆键合、硅通道、埋入式互连、空心晶片、沟槽隔离、微束结构形成、晶圆级包装(WLP)。
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