光刻加工

在刚落下帷幕的2023年MEDTEC国际医疗器械设计与制造技术展览会中，苏州原位芯片CEO马硕接受了荣格网记者专访，让我们一起了解医疗和微机电系统（MEMS）结合会有怎样的惊喜？荣格网报道：在智能化和微型化的背景下，医疗产品和微机电系统(Micro ElectroMechanical Systems，简称MEMS）的结合已经成为一种必然的趋势。在MEDTEC 2023展会上，苏州原

微纳加工

微纳加工

客户投诉、违法违规行为投诉

在微纳加工中，刻蚀工艺有很多种，其中干法刻蚀中掩膜版是常见的工艺之一。掩膜版也分软掩膜和硬掩膜。两者主要在获得方式、成本、耐温性和是否变形上有着一定的差异。 微纳加工中Chemical Vapor Deposition是生成无机薄膜的主要材料，最后形成硬掩膜。其主要成分通常有TiN、SiN、SiO2等。在实际操作中，硬掩膜常用在多重光刻中。其