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微纳加工
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微纳加工企业可以协助MEMS传感器的研发,但是MEMS传感器的制造是有一定难度的。目前市场现状就是大公司都有自己的生产工艺,没有统一的标准和准则去规范生产工艺。有些人认为,统一的工艺标准可能没有必要,只要能制作MENS传感器,其他的都不是问题。那么,MEMS制造到底需不需要标准呢? ST的Benedtto Vigna认为:是不需要统一的标准,但是某
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微纳加工 MEMS加工
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