02-17
微纳加工
02-11
MEMS公司再选择微纳加工MEMS加工厂合作之前,对其技术和业务层面应该做到了解透彻,这样,才能筛选出适合自己的工厂。企业和加工厂之间需要建立密切的关系,双方的技术能力应该是相互匹配的。MEMS产业有着许多机会,现在的微纳加工厂的技术能力还是可以的,他们获得优质客户并建立良好关系也是比较容易的。MEMS公司和加工厂之间相互选择
02-09
02-07
01-28
01-27
微纳加工中刻蚀工艺对材料正确的选择,是为开发不同器件工艺的有效途径。在刻蚀中常用材料的范围及其与HF工艺的兼容性,这些信息可以为未来设计的材料选择提供依据,并可以缩短开发时间。 在微纳加工MEMS加工中二氧化硅和氮化硅层在MEMS器件中十分常见,通过蚀刻去除牺牲氧化层是MEMS制造工艺的基础。至关重要的是,无氧蚀刻工艺不会
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