微纳加工
掩膜版,又称光掩模板、掩模板、光学掩模板、光掩膜、光刻掩膜版、光罩等,在薄膜、塑料或玻璃基体材料上制作各种功能图形并精确定位,以便用于光致抗蚀剂涂层选择性曝光的一种结构。掩膜版主要由基板和遮光膜两个部分组成,基板分为树脂基板和玻璃基板,遮光膜分为乳胶和硬质遮光膜两种。
掩膜版的应用场景非常广泛,特别是在涉及光刻工艺的领域中,如集成电路(IC)、平板显示器(FPD)、印刷电路板(PCB)、微机电系统(MEMS)等。在半导体制造中,掩膜版主要用于控制晶体管等器件的大小和位置,以及电路的连通性。掩膜版还能实现微米级的制作和处理,为现代芯片制造奠定了基础。具体来说,掩膜版在芯片制造中的光刻工序中起着关键作用,如制造动态随机存储器(DRAM)、NOR闪存等产品。这些产品广泛应用于智能手机、平板电脑、计算机等电子设备中,也可见于车载电子、医疗器械等领域。
综上所述,掩膜版的应用场景非常广泛,是微电子制造中光刻工艺不可或缺的图形母版。随着半导体技术的不断发展和进步,掩膜版的应用也在不断拓展和优化,为现代电子工业的发展做出了重要贡献。
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