微纳加工：苏州中试平台表现良好

在微纳加工中，比较考验公司MEMS技术能力的是“中试”环节。一个完整的MEMS产业链分为“研发-中试-批量生产”，“中试”环节是开发是否能继续的关键步骤。

我们知道MEMS制造的成本高、门槛高、技术含量也高，是限制国内MEMS产业发展的瓶颈。经历：前期通过微纳加工的研发，中期中试，后期量产；从实验室到可销售，每一步的成败都影响着最后成品的成败。从微纳代工，到中试环节，苏州纳米科技园的微纳加工企业表现均很优秀。

在过去的一年，苏州中试平台的出货量在全国微纳加工中名列前茅，出货量超过20000片6寸MEMS晶圆。苏州纳米科技园的中试平台得到了工信部等各级政府支持，以支撑苏州工业园区及中国MEMS产业发展为主要使命，完全按照代工模式建立，服务于各类企业、科研院所、研发机构、创业团队，提供研发支持、微纳加工服务，全开放、市场化运营，从根本上解决MEMS设计企业产品化的难题。

经过多年的努力，形成了一支完整的高水平微纳加工技术团队，积累了国内种类最多的MEMS产品量产经验，已成为国内工艺种类最全、部分工艺能力最强的MEMS代工线。平台通过不断的创新，与外商合作研发MEMS传感器，为国内企业抢抓下一代MEMS产品先机提供了坚实的基础。在此基础上，平台正计划建设8英寸线，更好地支撑国内MEMS产业发展。