苏州MEMS中试平台月产破千

微纳加工中最考验团队经验的，或许就是中试能力的强弱。苏州纳米城的MEMS中试平台，早在2017年就已经月产破千，成为国内成长最快的MEMS批量加工平台。

随着智能设备、生活工作物联网化，以传感器为核心的感知层是整个物联网的基础，市场需求呈现爆发式增长。新器件、新系统和MEMS芯片鲜有出现，导致市场存在着巨大的供需矛盾，大部分需求只能依赖于进口。国内MEMS产品依然相对较少，主要还是以惯性器件和压力传感器为主，而且多是中低端产品。目前看来这是一个常态，但随着技术和设备的引进，这些问题终将被解决。

微纳加工的中试只是MEMS供应链的前期，国内MEMS产业最薄弱的环节在生产制造，产品从实验室走向市场化过程中，研发与批量化之间缺乏衔接。苏州纳米城在成立之初就建成了国内首个全开放、市场化运作的MEMS加工平台，填补了产品概念验证与规模加工厂之间的中试空白。平台完全按照微纳加工厂（Foundry）模式建立，体系化管理，从根本上解决了中小MEMS设计企业产品化上的最大难题。

当下该中试平台已经非常成熟。经过多年在MEMS上的耕耘，苏州纳米城中试平台具备了完整的工艺库及各种器件工艺匹配能力。业务覆盖华东、华北、西南、华南，服务客户近30家，累计支撑客户完成近百款MEMS芯片的开发生产。中试的成功量产，助力客户将产品快速打入市场的同时，也为平台的良好发展奠定了基础。