微纳加工MEMS传感器制造的难点

微纳加工企业可以协助MEMS传感器的研发，但是MEMS传感器的制造是有一定难度的。目前市场现状就是大公司都有自己的生产工艺，没有统一的标准和准则去规范生产工艺。有些人认为，统一的工艺标准可能没有必要，只要能制作MENS传感器，其他的都不是问题。那么，MEMS制造到底需不需要标准呢?

ST的Benedtto Vigna认为：是不需要统一的标准，但是某一个不见或者不见的应用是可以有标准的。至于测试的方法，也不需要统一的标准。因为测试跟成本是有关系的。MEMS的测试是厂商货品成本中相当重要的一部分，所以每家公司有自己不同的心得，怎样做得最省钱、最好，所以各家的测试并没有一定的标准，但是各家做出来的产品可以互用。

微纳加工中，封装是工艺的最后一项，且是费用最高难度最大的一项。MEMS封装方式也是每个企业关注的重点，因为利益是否最大，取决于封装的费用。目前，WCSP、TSV等是封装的主流，客户会更倾向于哪种?用一句话高度概括地回答：最终客户并不在乎封装在里面的是什么，他们根据规格参数购买部件，无所谓是不是晶圆级芯片尺寸封装(WCSP)还是TSV封装，客户通常不会问这些问题。