微纳加工
具有一定经济实力的MEMS代工公司,业务不仅涉及光刻代工、刻蚀代工、mems器件代工,还能提供设备的使用。例如,有些学校、企业,自己的设备没法完成,可借助设备齐全的mems代工公司进行检测等一系列实验。像显微镜检测、SEM拍照等。
薄膜材料的特性,例如模量,残余应力,热膨胀系数,电导率等,对于MEMS设计和开发至关重要。如果不知道这些属性,则设计和建模非常困难或不可能。通常,薄膜的材料特性对精确的加工步骤和工艺顺序中使用的特性极为敏感。由于在实现过程中同时开发了许多过程,因此很少或没有关于这些属性的先验知识。
MEMS代工可参考的方法是从广泛的材料性能测试结构组合中选择经过特殊设计的测试结构,并在工艺开发过程中将其放置在晶圆上。然后,测量各种材料特性以及加工步骤和特性的影响。此信息将反馈到设备或系统的设计模型中,以优化模型的准确性。
MEMS代工提供封装服务
如果一家MEMS代工公司可以提供封装服务,那么这家公司的综合实力还是很强的。MEMS和纳米级器件的封装至关重要,并且由于MEMS必须以非常可控的方式与环境交互作用,因此与集成电路相比,封装具有更大的挑战性。也就是说,封装必须允许某些环境特性渗透到包装中,同时防止任何有害的环境因素使设备退化。
此外,由于MEMS跨越使用不同原理或测量不同环境影响进行操作的设备类型的多样性,因此没有标准封装。通常,封装必须针对每种设备或设备类型进行独特设计,作为完整MEMS开发活动的一部分。将包装的开发推迟到超出最初的设备概念可能会非常昂贵,甚至会损害新产品的成功。
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