微纳加工
如何判断与你合作的MEMS代工公司的综合能力是否强大,可以看这家MEMS代工公司的增值业务是否多。像咨询、代检测、代设计等业务,就是判断因素之一。
例如,一家MEMS代工公司可以协助客户,将代工工艺从一个铸造厂转移到另一个铸造厂,将过程从原型制作过渡到生产,开发第二个来源MEMS代工厂或优化现有生产过程时,质量控制和记录良好的过程协议至关重要。像MNX可以为客户的过程制定质量控制协议。诊断设备或过程中的问题;评估第三方制造商的质量等等。提供最佳MEMS代工质量控制服务能力的关键要素是:经验丰富的员工以及广泛的最先进的质量控制和计量设施。
同时,提供显微镜检查,也是MEMS代工公司增值业务之一。涉及的设备组合包括:
1.FEI双柱聚焦离子束(FIB);
2.日立扫描电子显微镜(SEM);
3.原子力显微镜(AFM);
4.Wyko NT3300非接触式轮廓仪;
5.具有温度控制功能的KLA / Tencor Flexus薄膜应力测量工具;
6.Dektak 200SL测针轮廓仪;
7.KLA / Tencor薄层电阻晶片探测器;
8.各种徕卡和尼康显微镜,用于使用明场,暗场和DIC进行光学成像;
9.荧光显微镜检测残留的光刻胶;ETC。
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