加拿大INO提供MEMS代工服务

INO是加拿大最大的光学和光子学专业中心，并且是世界上最好的技术研究中心之一。在过去的30年中，它创造并开发了创新且有价值的解决方案，以满足魁北克和整个加拿大企业的需求。提供技术的同时，也提供MEMS代工服务。

作为高科技领域的全球领导者，INO已实施了6,500多种解决方案，进行了75项技术转让，并为创建35家新公司做出了贡献，这些新公司为2,000多人提供了工作。通过从激光，光纤技术到成像系统的多种照明应用，INO可以控制光以捕获，识别，预测，决定或改变现实世界。它的创新解决方案通过四个业务部门为几个关键行业的加拿大企业提供支持：Biomedtech；国防，安全和航空航天；可持续资源，农业和基础设施；和先进制造。

MEMS代工服务是INO为硅晶片上的芯片的微细加工提供全方位的代工服务。无论客户需要高度专业化的服务还是完全集成的MEMS / MOEMS（微机电/微光电系统）制造过程，INO都有资源和专业知识来帮助客户实现目标。INO的100级，1,000级和10,000级无尘室配备了可处理100、150和200 mm基材的设备。INO提供的一些MEMS 代工/ MOEMS服务的列表：

·MEMS设计

·模拟（光学和机械）

·具有多个牺牲层的表面微加工

·异构组装

·原型制作和短期生产

·测试与表征

·晶圆级真空探测

·真空包装

·光学薄膜沉积和图案化的铸造服务以及金黑沉积服务。