MEMS代工流程指南

MEMS代工公司对于新的代工项目都有各自的流程和方法，今天我们就参考飞利浦MEMS代工项目是如何顺利进行的。飞利浦对于MEMS代工流程旨在从一开始就确保机密性并确保客户对所需结果的满意。大致分为三个阶段：MEMS概念验证、MEMS工艺开发和MEMS代工。

图片源自飞利浦

一、需求评估阶段

在获得MEMS代工需求信息后飞利浦将讨论他们可以为客户做什么和交付。通常，会签署保密协议（NDA）以实现机密信息的交换。然后，进行电话，拜访，并进行深入的技术讨论。飞利浦的MEMS专家具有很高的资历和经验，可以高效的完成很多MEMS方面的技术解答和建议。通过这种方式，彼此了解并确定是否能顺利对接。一个项目提案和带有条款和条件的正式报价（GTC）完成了此阶段。

二、项目阶段

通过这些MEMS Foundry服务，飞利浦MEMS代工涵盖了MEMS项目的设计，开发和交付阶段。从客户正式的“开始”开始，运行一个阶段控制的过程开发项目，包括以下三个主要阶段：

1.MEMS概念验证，飞利浦提供初步的MEMS制造工艺流程。需要进行进一步的确定以确定MEMS器件的可制造性，然后实施MEMS Foundry工艺流程，功能样本以及最有可能的某些迭代。这将使我们获得MEMS的概念证明。

2.MEMS工艺开发 ，在MEMS概念验证需要进一步发展为可用于以恒定质量和良率进行制造的设备。因此，下一步就是开发MEMS制造工艺流程。在MEMS代工厂，飞利浦开发了准备就绪的生产流程，并为您提供了验证其功能和质量的设备。

3.MEMS代工，根据客户的规格制造。多个生产运行用于消除任何重大的质量或良率问题，从而导致MEMS制造过程具有高质量，可重复性和可靠性。