微纳加工
我们知道,博世有自己的MEMS代工厂且协助自己工厂以外的客户进行代工。飞利浦创新服务公司也不例外。在荷兰,飞利浦拥有一家2650平方米厂房的纯MEMS代工公司。从事中小型MEMS定制服务,以满足客户量身定制的需求。这家工厂已经有40多年的历史,从飞利浦研发中心发展成为MEMS代工厂。
选择与飞利浦进行MEMS代工合作,不仅是引诱40多年的发展积累了丰富的经验和制作能力,更多的是提供了创新的解决方案和MEMS代工相关的设备条件。飞利浦根据ISO 13485和9001制造MEMS设备,2650平的 100级至10,000级最先进的洁净室(ISO 5-7级)为MEMS代工提供了良好的环境。对于材料的使用也非常灵活,灵活地处理从Ag到Zn的材料,包括“禁止使用CMOS”的材料,合金,电介质和聚对二甲苯等聚合物。也可灵活地处理高达8英寸的Si,III / V,GaAs,玻璃,石英,正方形和圆形衬底
飞利浦MEMS制造4、6、8英寸甚至正方形基板。MEMS代工厂可以灵活地使用硅,SOI,GaAs,玻璃,石英和CMOS晶片等衬底材料。向客户提供高质量和高可靠性的服务:先进的工艺开发,原型制作以及中小批量生产。
飞利浦MEMS代工为大部分的技术领导者服务,主要是大中型和成长中的高科技企业。客户对飞利浦的纯MEMS代工厂的评价是飞利浦对变更请求的响应能力,以及为“看似不可能的”提供创新的解决方案的能力。这些使得飞利浦MEMS代工走向更多客户的原因。
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