微纳加工
SiTime的MEMS时序解决方案中如何实现+/- 5ppb的稳定性。本质上,振荡器封装中有两个芯片。MEMS管芯使机械振动元件能够使用电容耦合产生较小的信号,而模拟振荡器电路将其放大以生成时钟信号。其MEMS裸片在德国博世制造,而带有振荡器放大器,锁相环和其他支持电路的混合信号CMOS裸片在TSMC制造。然后,SiTime将“烤箱”和加热元件嵌入包装中,以保持温度恒定。
该模拟电路具有补偿算法,可将MEMS谐振器在整个温度范围内的50 ppm固有频率变化降低至5 ppb。也就是说:这就是使用烤箱和加热器的全部目的-使包装内的温度保持恒定,以使温度不会随温度的变化而变化。这是石英人也使用的哲学。我们已经将其翻译为硅。我们基本上是在锁相环的帮助下进行数字补偿的。它实际上是一个控制回路,用于测量谐振器的温度并将其馈入振荡器电路。这样可以补偿输出,以确保其尽可能接近标称频率。
在5G中,计时的准确性需要更加严格,尤其是在实时服务,更大带宽和压力更大的环境中。在致密化,移动物联网(IoT)和联网的汽车环境中的应用中,所有这些领域都对时序至关重要,并且需要一致的时钟性能。
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