飞利浦MEMS代工工厂

荷兰皇家飞利浦公司的MEMS代工工厂是一家提供对内服务以及对外提供MEMS代工和微组装服务的公司。飞利浦MEMS代工工厂的主要业务范围包含：CMOS屏蔽材料、合金、介电材料和聚合物，如聚对二甲苯，上述材料可以放置于多种方形和直径为200mm的圆形的基板之上，包括硅、化合物半导体和玻璃。使用材料范围涵盖从银到锌。

飞利浦MEMS代工工厂之前年产1.5万片6英寸和8英寸晶圆。为了提高业务能力和范围，公司折合为七层光刻工艺流程换算，将产能提高到3万片/年。公司140名员工中有70名员工是服务于MEMS代工行业，70名服务于微组装领域。公司拥有2500多平的净化室，提供给MEMS代工、MEMS研发、MEMS制造和产品打样服务。

飞利浦MEMS代工厂可以生产各种MEMS器件的能力，也已经取得了一些成功制作应用于印刷和医疗电子领域微流控器件的经验。客户包括奥西荷兰有限公司和飞利浦家用临床监测公司。飞利浦团队也提供多样化的晶圆键合技术，包括专有的黏着键合合技术，“MEMS-last”CMOS晶圆集成和后段工艺，如微组装和MEMS器件测试。

可以提供柜内和对外的MEMS代工业务，飞利浦的产能可以满足多种应用。与多家客户的在MEMS代工上的合作，让公司更具经验和市场竞争力。