MEMS代工服务在传感器芯片上的正式运营

MEMS代工服务在半导体芯片上的成功运营，已经有广州某公司实现。该公司6英寸的MEMS半导体传感器芯片成功量产出流量传感器、温度传感器、湿度传感器、气体风速传感器等。并同时为珠三角地区的客户提供优质的服务。该产线的成功运营，标志着该公司在华南地区领先的MEMS半导体传感器芯片生产，同时也为粤港澳大湾区的MEMS半导体传感器发展奠定了基础。

不仅可以提供专业MEMS代工服务，也能自己研发相应的产品。这条产线匹配的生产环境是非常严苛的。例如，净化车间总面积约两千多平方米，配置湿法清洗区、百级洁净度光刻区、千级洁净度镀膜区、千级洁净度刻蚀区、千级洁净度离子注入区及参观通道等。整个洁净车间安装了多套高性能风淋系统，对进入洁净间的员工或者货物进行彻底风淋除尘。为了能提供更多的MEMS代工服务，该公司还配置了多台步进式投影光刻机、双面光刻机、涂胶显影机、深硅刻蚀机、大束流离子注入机、PECVD、LPCVD、氧化炉、磁控溅射机、探针台、应力测试仪、全自动RCA清洗机等先进的自动化生产设备搬入，生产线正式投入运营。在设备上就已经秒杀了很多MEMS代工公司，可以看出该公司对做好业务的决心。

随着物联网的兴起，MEMS代工产业涉及的领域越来越多，也发挥着不可估量的作用。在国内，无论是华南还是华北，国内MEMS代工都在慢慢崛起，逐渐取代国外企业的垄断，真正实现自主自强的伟大愿景。