微纳加工
台湾早期MEMS产业主要是以MEMS代工为主。早在2011年,官方发布的MEMS代工工厂中,就有一些台湾的MEMS代工工厂,而且排名靠前。但是相比欧美等地区的公司,台湾的MEMS产业还有很久远的路程要走。
提供墨盒和打印机制造商生产喷墨头、RF器件、压力传感器和光学器件的APM和tMt是两家纯MEMS代工工厂。TSMC和UMC是CMOS代工厂,并在几年前涉及MEMS代工业务。他们开始像欧洲和美国的MEMS代工厂一样,在CMOS-MEMS平台上做代工。TSMC认为,不论是单片还是混合解决方案,CMOS和MEMS集成是趋势,并采用标准工艺提供CMOS-MEMS整体集成方案以实现器件快速进入市场。Maxchip也开始CMOS-MEMS代工服务。
台湾MEMS产业主要涉及喷墨头、微镜等。用于工业、医疗和消费应用的压力传感器、硅基麦克风、喷嘴、微流体和喷墨头;也有MEMS代工,如MEMS封装和组装业务。日月光在这领域是最大的服务商,它和每个领域最大的MEMS公司都有合作。其他小的封装、组装贵公司也都是大有前途。
台湾MEMS代工产业一直处在发展期中,除了学习国外欧美MEMS代工工厂的有点,保持自身优势。MEMS代工业务范围、技术能力都是需要提高的。MEMS设计、封装、组装和MEMS代工的有效结合才是更好发展的有效途径。
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