MEMS代工、微纳加工中会涉及到激光微加工，纳米科技的基础是需要纳米材料的开发和研制。微纳代工在各种科研实验中起着举足轻重的作用。激光微加工，不仅在短期受到了大家的欢迎，在未来长久的微纳制造中也有着举足轻重的作用。二十世纪四大重要发明之一的激光技术，被普遍用于制作生产中。随着小型电子产品和微电子元器件需求的激增，激光微加工已成为激光在工业应用中发展极快的领域之一。

微纳加工中使用的激光能量密度高、方向性好、光斑大小可调，激光加工利用其这些特点将光能转变为热能来蚀除材料。激光微加工的材料种类非常广，几乎囊括了所有金属和非金属材料，它与机械微加工相比属于非接触式加工，不存在工具损耗，也没有明显的机械力，因而不会产生加工变形。

微纳加工中的激光微加工技术依旧在不断的发展，因为其良好的加工表现，让越来越多的用户对微纳代工很有信心。专家预测，随着激光技术的日益发展，比如在光源、能量密度等方面的改善，都将让人拭目以待。同时，在微纳代工和微纳制造中，激光微加工的发挥空间还很大。