Lionix International的微流控和MEMS代工

之前介绍过Lionix International的MEMS代工整体概况。细观MEMS代工属于微加工，通过光刻，蚀刻和沉积技术对硅和玻璃进行结构化处理。微机械加工使千分尺能够精确生产大量非常小的设备，可用于多种应用。

其MEMS代工使用多种微加工技术，例如：

·硅的各向异性湿法刻蚀

·干法刻蚀硅（DRIE）

·熔融石英干法刻蚀

·硼硅酸盐玻璃和熔融石英的各向同性湿法刻蚀

·晶圆键合

·氮化硅的LPCVD

通过KOH蚀刻的精密微加工喷嘴的示例

MEMS代工中微加工芯片的包括：

·探针提示

·TEM网格

·槽板

·质谱仪的OEM零件

·TEM加热台

微流控

微流体技术是在芯片上处理或分析液体或气体的非常广阔的领域。微流体技术从宏观世界中已知的原理的微型化开始，例如止回阀和蠕动泵。当使用新的原理时，微流体的真正力量就得到了揭示，这些原理在微观尺度上效果最佳：表面张力，扩散混合，层流和电渗泵等原理。微流体系统通常以连续流模式使用，这为经典批处理模式提供了决定性的优势。

一种微流控芯片示例，用于检测火星上的过去或现在的痕迹，并打算作为Aurora计划Exomars任务中的一种仪器飞行。该芯片是具有高附加值的复杂系统的一个示例，包括几个反应腔（其中一些反应腔由能够与搜索到的生物标记物结合的纤维垫填充），用于流量控制的电导率传感器以及定义了反应池的旋转阀的定子。通过逐步完成多个索引位置的分析协议。

硅和混合玻璃硅流体技术

MEMS代工、研发中微流体芯片通常由玻璃制成，因为它是实验室最终用户认可的材料。在LioniX International，我们还生产微流体硅芯片和混合硅玻璃芯片。这种芯片的最大优势在于硅工艺的可能性要大得多。例如，在硅中，可实现的特征尺寸和纵横比优于玻璃中的特征尺寸和纵横比，并且由于可以使用更多种类的制造工艺，因此可以添加更多的功能。设备种类繁多，包括反应器，电泳芯片，混合器，相分离器，通常用于生命科学或化学过程工业。