微纳加工
之前介绍过MNX公司可以提供MEMS代工服务,MEMS,微型和纳米设备的实施通常需要开发独特的定制工艺。现在众所周知,用于开发,制造MEMS,微和纳米工艺的方法与用于集成电路的方法明显不同。为MEMS,微型或纳米设备开发定制过程可能是一项复杂而昂贵的任务,但是在MNX的帮助下,这项任务可以变得更加容易且成本更低。MNX聘请了一支由经验丰富,才华横溢的世界一流博士团队组成,其工艺工程师包括MEMS,微技术和纳米技术各个领域的知名专家,包括:射频(RF),光学,声学,微流体,医学和生命科学,可以帮助您开发用于 特定的设备或用途。这种专业知识与我们久经考验的开发方法结合在一起,特别是针对可制造性方法的MNX设计,使设备的开发可以按预算和时间满足客户的技术要求。这次就具体的代工项目我们一起来看看会有哪些不一样。
MNX为客户提供先进的电子束光刻服务。这项服务以每小时可承受的价格提供(这个和国内报价方式一致),并通过先进的电子束工具提供更快的周转时间。这项服务的主要优势包括:
1.在全新的最新电子束系统上执行(已升级Vistec EBPG 5000+,以提高工具的吞吐率);
2.快速的扫描速度-50MHz的扫描速度=高吞吐率和较低的成本;
3.光点尺寸低于2.5 nm; 扫描字段大;
4.低于30 nm的场拼接和对准精度;
5.10个晶片支架的负载锁定(减少抽气时间);
6.循环时间短;
7.电子束专家提供的服务;
8.提供多种抗蚀剂类型;
9.对于MNX客户而言,每小时的费用不高。
MNXMEMS代工为掩膜设计和制造提供了多种选择。我们的工程师可以为您进行布局设计或使用您的布局文件。我们的掩模制造能力涵盖从图案生成到电子束再到X射线的各种范围。
先进的设备、经验丰富的MEMS代工工艺工程师是提供优质MEMS代工的保障。我们在选择MEMS代工公司的时候一定要选择经验丰富的公司,这样可以避免不要的损失。
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