微纳加工
中国已经在快速发展MEMS产业,像上海、北京等地都投入了8英寸的晶圆代工厂的建设,投资金额达到了百亿美元的水平。这将中国成为芯片生产中心奠定了良好的基础。即便是的晶圆代工工厂,也会向专业化方向发展,支持MEMS工艺,并良好运行。
很多人展望和期许未来很多半导体公司都将会在MEMS上获取收益,只要有MEMS代工经验,生产线上可以插入MEMS工艺,并且和客户保持密切的联系。MEMS产业的灵活性和稳定性都将一一展现出来。像台积电这样的代工公司,对MEMS业务表示十分感兴趣,并愿意结合现有的半导体技术,涉足更多MEMS产业。但是,他们暂时没有MEMS工艺,这将为其他企业的崛起提供有力的竞争条件。
新型企业在MEMS上相比传统企业要灵活的多,但是缺少传统企业固有的产线生产资源。所以,将新型企业的灵活与传统大公司可以批量生产的能力相互结合起来。可以把设计给MEMS代工工厂执行,传统公司进行批量生产,这样的结合,可让MEMS产业将大放异彩。像Memsic就是一个很好的例子。Memsic利用台积电作为代工厂生产0.6微米逻辑电路,然后将6英寸晶圆拿回来放到无锡的分公司制作MEMS结构。
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