微纳加工
MEMS代工的出现,本身就是营运MEMS产业而生,对于具有一定规模的MEMS企业来说,通过扩大现有MEMS代工规模可以应对MEMS产业爆发而带来的红利。MEMS代工公司应该具有敏锐的市场洞察,可以通过客户订单内容、数量来做出粗略的判断。快速发现市场需求并做出准确判断,对现有的设备、产线规模进行优化升级。
像Silicon Sensing公司,也是在客户需求总发现需求,满足客户日益增多的MEMS代工需求,为客户提供高效、高精度的MEMS代工。想其在日本的MEMS代工厂规模进行扩增,新增的厂房设施,主要为了满足MEMS惯性传感器和溅射PZT(锆钛酸铅)薄膜MEMS器件MEMS代工增长需求。6英寸产能产线扩大到8英寸,在产能上就能满足订单需求。同时,新增许多沉积和蚀刻设备,包括新的ALD(原子层沉积)设备,该设备可用于制备适用于恶劣环境下的PZT薄膜。
MEMS代工中涉及的薄膜业务是Silicon Sensing公司的产销产品业务。广泛应用于汽车、工业和商业领域。作为一款具有超高可靠性(最近3年0 ppm返修率)、高精确度且价格合理的MEMS传感器,PinPoint®陀螺仪目前仍然是最畅销的产品,在业界拥有良好的声誉。MEMS代工从产线和设备的优化、升级、扩张,虽说需要投入充足的资金,但是随着业务的增多,这些投入是值得的,同时会在一段时间全部消化完成并回本。
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