国内MEMS代工分布及发展情况

据统计，我国目前MEMS代工公司主要分布在江苏苏州、无锡、上海和北京等地域。其中包括国内外知名企业:中芯国际、华润上华和上海先进。但是国内各代工厂的MEMS项目和产品设立比较分散，缺乏国际主流技术的完整系统和产业链配套，与IC晶圆加工技术互耦结合性较弱。

中芯国际采用深大尺度刻蚀、三维架空结构、圆片双面光刻以及圆片键合等新型微加工技术，发挥大规模、高品质、低成本的代工优势，成为中国内地首家8英寸MEMS晶圆代工制造商。国内多数MEMS代工企业均以中低端的4英寸、5英寸的生产线为主，与海外意法半导体、英飞凌等国际大公司的8英寸MEMS生产线有较大差距，不适于制造高端的嵌入式MEMS及CMOS-MEMS集成芯片。江苏的晶圆产业在我国具有龙头的地位，例如无锡的华润是我国晶圆制造的发源地。海力士12英寸和8英寸的产线早已投入生产。苏州的8英寸产线也陆续投产并开启二期工程、12英寸线项目。

江苏省内MEMS代工，还是在无锡和苏州两个地区，主要以晶圆加工为主。传统的晶圆加工已经有十几二十年的基础，是非常成熟的代工产业。而MEMS代工则是新发起的代工产业。它对于传统代工更有特色。MEMS代工涉及的领域更加广泛，包含微型传感器、只能传感器等新兴的传感器、微流控等领域。MEMS还需要三种特殊工艺设备：双面光刻机、湿法腐蚀台和键合机，其技术和价格构成了相应的风险因素。 

当传统MEMS代工趋向饱和，传统硅技术将一直延续到2047年(即晶体管发明100周年)。而当前微电子技术仍将依循“等缩比原理”和“摩尔定律”两条基础规律走下去，在尽力逼近传统硅技术极限中，不断扩展硅的跨学科横向应用(如MEMS等)和突破“非稳态物理器件”(量子、分子器件)，微电子技术则将是未来20年发展的助理。MEMS代工也将迎来黄金的10年。